多層/腔無塵無氧烘箱
一．概述：
普遍應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，模壓固烤、IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。
二、產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：
名稱及型號：多層/腔無塵無氧烘箱HSQMO-6D
設(shè)備特點:可對接MES系統(tǒng)
內(nèi)膽為SUS304不銹鋼滿焊密封結(jié)構(gòu)，防止氣體進入絕緣層；
表面噴塑處理保證了設(shè)備的抗腐蝕能力；
門密封設(shè)計保證設(shè)備在300℃高溫運行時完整的密封效果；
大門與加熱器/風門互鎖功能。
可連電腦，實現(xiàn)同時監(jiān)測與控制多臺設(shè)備
歷史數(shù)據(jù)、歷史操作,歷史報警數(shù)據(jù)查詢，記憶操作步驟，操作便捷！
智能化多段可編程控制，真正實現(xiàn)復(fù)雜的試驗過程自動控制和運行
主要技術(shù)參數(shù)
工作尺寸：W500×H500×D500*6
溫度范圍：室溫+20℃～300℃
均勻度：±1.5%（空載）
均勻度：±2%（滿載）
潔凈等級：Class100級
含氧量：<=20PPM
升溫速度：常溫～+250℃,升溫速率：0～7℃/min，升溫斜率程序可控
降溫速度：降溫斜率程序可控,250～+120℃，2℃/min以內(nèi)可以設(shè)定，120～70℃，降溫時間<=50min,
溫控器：日本優(yōu)易控控制模組+PC界面
三、箱體結(jié)構(gòu)：
1.烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方。
2.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵。
3.箱體材料：外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵。
4.內(nèi)膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤產(chǎn)生PARTICLE。
5.中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密加工(防污染)。
6.保溫材料:超細玻璃棉;
7.電熱器:采用進口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發(fā)生器。
8.潔凈度:烤箱內(nèi)部均采用無塵化配件及材料。
四、工作室的氣流設(shè)計：
1.采用特殊設(shè)計，滿足內(nèi)腔Class100潔凈標準；
2.排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)，以達到強烈循環(huán)效果而降溫，排風加冷阱。
3.進氣口：加附Ｎ２流量計控制進氣量。入氣口：10mm
4.壓縮氣體過濾器，可把氣體過濾到CLASS100，凈化氣體流量：300L/分鐘。
五、可靠的測控系統(tǒng)
溫控裝置：智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控（可聯(lián)網(wǎng)，對接MES及SECSGEM） 10〃TFT真彩觸摸薄屏
程式編輯：可預(yù)編120個程式，每個程式可編99段，共1200段；歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出) ；三點溫度記錄；溫度測量：采用特制鍇裝鉑電阻
六、完善的安全保護措施：
漏電斷路器//控制線路保險絲裝置//超溫防止保護裝置//欠相保護//電熱器過電流保護裝置//馬達電流過載保護//機臺異常時蜂鳴器警示//門安全開關(guān)//三色指示燈
產(chǎn)品參考圖：
